ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍເຄື່ອງດູດຝຸ່ນໃນເຕັກໂນໂລຊີ MBE: ການເພີ່ມຄວາມແມ່ນຍໍາໃນ Epitaxy ຂອງລຳແສງໂມເລກຸນ

ການແຍກລຳແສງໂມເລກຸນ (MBE) ເປັນເຕັກນິກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດຟິມບາງໆ ແລະ ໂຄງສ້າງນາໂນ ສຳລັບການນຳໃຊ້ຕ່າງໆ, ລວມທັງອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ອອບໂຕເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ ການປະມວນຜົນແບບຄວອນຕຳ. ໜຶ່ງໃນສິ່ງທ້າທາຍທີ່ສຳຄັນໃນລະບົບ MBE ແມ່ນການຮັກສາອຸນຫະພູມໃຫ້ຕໍ່າຫຼາຍ, ເຊິ່ງເປັນບ່ອນທີ່ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດs (VJP) ເຂົ້າມາມີບົດບາດ. ທໍ່ທີ່ກ້າວໜ້າເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຮັບປະກັນການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນໃນຫ້ອງ MBE, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການບັນລຸການເຕີບໂຕທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຂອງວັດສະດຸໃນລະດັບອະຕອມ.

ການກຳຈັດອະນຸພາກໂມເລກຸນລຳແສງ (MBE) ແມ່ນຫຍັງ?

MBE ແມ່ນເຕັກນິກການວາງຊັ້ນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການວາງຊັ້ນທີ່ຄວບຄຸມຂອງລຳແສງອະຕອມ ຫຼື ໂມເລກຸນລົງເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວຕ້ອງການການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນເປັນປັດໄຈສຳຄັນ. ໃນລະບົບ MBE,ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງຂອງແຫຼວ ແລະ ອາຍແກັສໃນໄລະຍະຄຣຽວເຈນິກ, ຮັບປະກັນວ່າພື້ນຖານຍັງຄົງຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ເໝາະສົມໃນລະຫວ່າງຂະບວນການວາງຊັ້ນ.

MBE Phase Separator 拷贝

ບົດບາດຂອງທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍເຄື່ອງດູດຝຸ່ນໃນລະບົບ MBE

ໃນເຕັກໂນໂລຊີ MBE,ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຂົນສົ່ງ cryogens ເຊັ່ນ: ໄນໂຕຣເຈນແຫຼວ ແລະ ຮີລຽມແຫຼວເພື່ອເຮັດໃຫ້ຫ້ອງ MBE ແລະ ສ່ວນປະກອບທີ່ກ່ຽວຂ້ອງເຢັນລົງ. ທໍ່ປະກອບດ້ວຍທໍ່ພາຍໃນທີ່ບັນຈຸຂອງແຫຼວ cryogenic, ລ້ອມຮອບດ້ວຍເສື້ອກັນຄວາມຮ້ອນດ້ານນອກທີ່ມີຊັ້ນສູນຍາກາດ. ฉนวนกันความร้อนສູນຍາກາດນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ, ປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມ ແລະ ຮັບປະກັນວ່າລະບົບຮັກສາອຸນຫະພູມຕໍ່າສຸດຕາມຄວາມຕ້ອງການສຳລັບ MBE.

MBE Phase Separator (2) 拷贝

ຂໍ້ດີຂອງການໃຊ້ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍເຄື່ອງດູດຝຸ່ນໃນເທັກໂນໂລຢີ MBE

ການນໍາໃຊ້ຂອງທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດໃນເຕັກໂນໂລຊີ MBE ມີຂໍ້ດີຫຼາຍຢ່າງ. ທຳອິດ, ພວກມັນຮັບປະກັນການຄວບຄຸມຄວາມຮ້ອນທີ່ແນ່ນອນທີ່ຕ້ອງການສຳລັບການວາງຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຊິ່ງມີຄວາມສຳຄັນຕໍ່ການບັນລຸການເຕີບໂຕຂອງວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະພາບ. ອັນທີສອງ, ພວກມັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງການປົນເປື້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມ MBE ໂດຍການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງສູນຍາກາດ. ສຸດທ້າຍ,ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດປັບປຸງປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງລະບົບ MBE ໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການຕົ້ມຂອງນໍ້າຢາ cryogenic, ເຊິ່ງນໍາໄປສູ່ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການດໍາເນີນງານ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງລະບົບທີ່ຍາວນານຂຶ້ນ.

VI Valve Box ມີຟັງຊັນ Purge 拷贝

ອະນາຄົດຂອງທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍເຄື່ອງດູດຝຸ່ນໃນການນຳໃຊ້ MBE

ຍ້ອນວ່າເທັກໂນໂລຢີ MBE ສືບຕໍ່ພັດທະນາ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາສູງເພີ່ມຂຶ້ນ,ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດຈະມີບົດບາດສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ນະວັດຕະກຳໃນວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການອອກແບບຈະຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງທໍ່ເຫຼົ່ານີ້ຕື່ມອີກ, ປັບປຸງປະສິດທິພາບພະລັງງານຂອງລະບົບ MBE ແລະ ເຮັດໃຫ້ສາມາດຜະລິດວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າກວ່າເກົ່າ. ຍ້ອນວ່າອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການປະມວນຜົນແບບຄວອນຕຳສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ, ຄວາມຕ້ອງການສຳລັບວິທີແກ້ໄຂການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນທີ່ໜ້າເຊື່ອຖື ແລະ ມີປະສິດທິພາບ, ເຊັ່ນ:ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດ, ຈະເຕີບໃຫຍ່ເທົ່ານັ້ນ.

ໂຄງການ MBE 拷贝

ສະຫຼຸບແລ້ວ,ທໍ່ຫຸ້ມດ້ວຍສູນຍາກາດເປັນອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນໃນຂະບວນການ MBE, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໄດ້ຢ່າງແນ່ນອນ ແລະ ຮັບປະກັນການວາງຟິມບາງທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໄດ້ຢ່າງສຳເລັດຜົນ. ຍ້ອນວ່າຄວາມຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ກ້າວໜ້າຍັງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ທໍ່ເຫຼົ່ານີ້ຈະຍັງຄົງມີຄວາມຈຳເປັນສຳລັບການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ຳທີ່ຕ້ອງການສຳລັບເຕັກໂນໂລຊີ MBE ທີ່ທັນສະໄໝ.


ເວລາໂພສ: ວັນທີ 28 ພະຈິກ 2024