ລະບົບຄວາມເຢັນໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor & chip, ລວມທັງຂະບວນການ,
- ເຕັກໂນໂລຊີຂອງ Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- ການທົດສອບຂອງ chip ຫຼັງຈາກຊຸດ COB
ຜະລິດຕະພັນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
Vacuum Insulated Pipe Series
Vacuum Insulated Flexible Hose Series
ລະບົບເຄື່ອງດູດຝຸ່ນແບບໄດນາມິກ
Vacuum Insulated Phase Separator Series
Vacuum Insulated Valve Series
ອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນລະບົບທໍ່
MOLECULAR BEAM EPITAXY
ເທັກໂນໂລຍີຂອງ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ໄດ້ຖືກພັດທະນາໃນຊຸມປີ 1950 ເພື່ອກະກຽມວັດສະດຸແຜ່ນບາງໆ semiconductor ໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີການລະເຫີຍສູນຍາກາດ.ດ້ວຍການພັດທະນາຂອງເຕັກໂນໂລຊີສູນຍາກາດ ultra-high, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຕັກໂນໂລຊີໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍໄປສູ່ພາກສະຫນາມຂອງວິທະຍາສາດ semiconductor.
HL ໄດ້ສັງເກດເຫັນຄວາມຕ້ອງການຂອງ MBE ລະບົບລະບາຍຄວາມຮ້ອນໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ, ກະດູກສັນຫຼັງທາງດ້ານວິຊາການເພື່ອປະສົບຜົນສໍາເລັດໃນການພັດທະນາລະບົບ cooing ໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ MBE ພິເສດສໍາລັບເຕັກໂນໂລຢີ MBE ແລະລະບົບທໍ່ລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ສົມບູນ, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຫຼາຍວິສາຫະກິດ, ມະຫາວິທະຍາໄລແລະສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາ. .
ບັນຫາທົ່ວໄປຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor & chip ປະກອບມີ,
- ຄວາມກົດດັນຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນ Terminal (MBE).ປ້ອງກັນການໂຫຼດເກີນຄວາມກົດດັນຈາກອຸປະກອນທີ່ເກີດຄວາມເສຍຫາຍ (MBE).
- ການຄວບຄຸມທາງເຂົ້າແລະອອກຂອງແຫຼວ Cryogenic ຫຼາຍ
- ອຸນຫະພູມຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວເຂົ້າໄປໃນອຸປະກອນ Terminal
- ປະລິມານການປ່ອຍອາຍພິດ Cryogenic ທີ່ສົມເຫດສົມຜົນ
- (ອັດຕະໂນມັດ) ການປ່ຽນສາຍຫຼັກ ແລະສາຂາ
- ການປັບຄວາມກົດດັນ (ການຫຼຸດຜ່ອນ) ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ VIP
- ອະນາໄມສິ່ງສົກກະປົກທີ່ເປັນໄປໄດ້ ແລະ ນ້ຳກ້ອນທີ່ຕົກຄ້າງອອກຈາກຖັງ
- ເວລາການຕື່ມຂອງອຸປະກອນຂອງແຫຼວຢູ່ປາຍຍອດ
- Pipeline Precooling
- ຄວາມຕ້ານທານຂອງແຫຼວໃນລະບົບ VIP
- ຄວບຄຸມການສູນເສຍໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວໃນລະຫວ່າງການບໍລິການທີ່ບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງຂອງລະບົບ
ທໍ່ສູນຍາກາດ Insulated Pipe (VIP) ຂອງ HL ຖືກສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫັດທໍ່ຄວາມກົດດັນ ASME B31.3 ເປັນມາດຕະຖານ.ປະສົບການດ້ານວິສະວະກໍາແລະຄວາມສາມາດໃນການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບເພື່ອຮັບປະກັນປະສິດທິພາບແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງໂຮງງານຂອງລູກຄ້າ.
ວິທີແກ້ໄຂ
ອຸປະກອນ HL Cryogenic ໃຫ້ລູກຄ້າດ້ວຍລະບົບທໍ່ລະບາຍຄວາມຮ້ອນສູນຍາກາດເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການແລະເງື່ອນໄຂຂອງອຸດສາຫະກໍາ semiconductor & chip:
1. ລະບົບການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບ: ASME B31.3 ລະຫັດທໍ່ຄວາມກົດດັນ.
2.A ເຄື່ອງແຍກໄລຍະພິເສດທີ່ມີຫຼາຍ Cryogenic Liquid Inlet ແລະ Outlet ທີ່ມີຫນ້າທີ່ຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການປ່ອຍອາຍແກັສ, ໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວທີ່ນໍາມາໃຊ້ໃຫມ່ແລະອຸນຫະພູມຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ.
3. ການອອກແບບສະຫາຍທີ່ພຽງພໍແລະທັນເວລາໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າອຸປະກອນ terminal ສະເຫມີເຮັດວຽກພາຍໃນມູນຄ່າຄວາມກົດດັນທີ່ອອກແບບມາ.
4.The Gas-liquid Barrier ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນທໍ່ VI ຕັ້ງຢູ່ໃນຕອນທ້າຍຂອງທໍ່ VI.Gas-liquid Barrier ໃຊ້ຫຼັກການປະທັບຕາຂອງອາຍແກັສເພື່ອສະກັດຄວາມຮ້ອນຈາກທ້າຍຂອງທໍ່ VI ເຂົ້າໄປໃນທໍ່ VI, ແລະປະສິດທິຜົນຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ບໍລິການຂອງລະບົບທີ່ບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງແລະ intermittent.
5.VI Piping Controlled by The Vacuum Insulated Valve (VIV) Series: ລວມທັງ Vacuum Insulated (Pneumatic) Shut-off Valve, Vacuum Insulated Check Valve, Vacuum Insulated Regulating Valve ແລະອື່ນໆ ປະເພດຕ່າງໆຂອງ VIV ສາມາດຖືກລວມເຂົ້າກັນເພື່ອຄວບຄຸມ VIP ເປັນ. ຕ້ອງການ.VIV ແມ່ນປະສົມປະສານກັບເຄື່ອງ prefabrication VIP ໃນຜູ້ຜະລິດ, ໂດຍບໍ່ມີການຮັກສາ insulated ໃນສະຖານທີ່.ຫນ່ວຍປະທັບຕາຂອງ VIV ສາມາດທົດແທນໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍ.(HL ຍອມຮັບຍີ່ຫໍ້ວາວ cryogenic ທີ່ກໍານົດໂດຍລູກຄ້າ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເຮັດໃຫ້ vacuum insulated valves ໂດຍ HL. ບາງຍີ່ຫໍ້ແລະຕົວແບບຂອງ valves ອາດຈະບໍ່ສາມາດໄດ້ຮັບການຜະລິດເປັນ vacuum insulated valves).
6.Cleanliness, ຖ້າມີຄວາມຕ້ອງການເພີ່ມເຕີມສໍາລັບຄວາມສະອາດດ້ານໃນທໍ່ພາຍໃນ.ແນະນໍາໃຫ້ລູກຄ້າເລືອກທໍ່ສະແຕນເລດ BA ຫຼື EP ເປັນທໍ່ພາຍໃນ VIP ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການຮົ່ວໄຫຼຂອງສະແຕນເລດຕື່ມອີກ.
7.Vacuum Insulated Filter: ເຮັດຄວາມສະອາດສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ເປັນໄປໄດ້ ແລະ ນໍ້າກ້ອນທີ່ຕົກຄ້າງອອກຈາກຖັງ.
8.After a few days or longer shutdown or maintenance , ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນຫຼາຍທີ່ຈະ precool VI Piping ແລະ terminal ອຸປະກອນກ່ອນທີ່ຈະ cryogenic ແຫຼວເຂົ້າໄປໃນ, ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການ slag ກ້ອນຫຼັງຈາກ cryogenic ແຫຼວໂດຍກົງເຂົ້າໄປໃນ VI Piping ແລະ terminal ອຸປະກອນ.ຟັງຊັນ Precooling ຄວນພິຈາລະນາໃນການອອກແບບ.ມັນສະຫນອງການປົກປ້ອງທີ່ດີກວ່າສໍາລັບອຸປະກອນຢູ່ປາຍຍອດແລະ VI ອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນທໍ່ເຊັ່ນ: ປ່ຽງ.
9.Suit ສໍາລັບທັງ Dynamic ແລະ Static Vacuum Insulated (ຍືດຫຍຸ່ນ) ລະບົບທໍ່.
10.Dynamic Vacuum Insulated (Flexible) ລະບົບທໍ່: ປະກອບດ້ວຍ VI Flexible Hoses ແລະ/ຫຼື VI Pipe, Jumper Hoses, Vacuum Insulated Valve System, Phase Separors and Dynamic Vacuum Pump System (ລວມທັງປໍ້າສູນຍາກາດ, ປ່ຽງ solenoid ແລະສູນຍາກາດ ແລະອື່ນໆ. ).ຄວາມຍາວຂອງທໍ່ດຽວ VI Flexible Hose ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຜູ້ໃຊ້.
11.Various Connection Types: Vacuum Bayonet Connection (VBC) Type and Welded Connection ສາມາດເລືອກໄດ້.ປະເພດ VBC ບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງມີການປິ່ນປົວດ້ວຍ insulated ຢູ່ສະຖານທີ່.