Molecular Beam Epitaxy ແລະລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວໃນອຸດສາຫະກໍາ Semiconductor ແລະ Chip

ຫຍໍ້ຂອງ Molecular Beam Epitaxy (MBE)

ເທັກໂນໂລຍີຂອງ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ໄດ້ຖືກພັດທະນາໃນຊຸມປີ 1950 ເພື່ອກະກຽມວັດສະດຸແຜ່ນບາງໆ semiconductor ໂດຍໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີການລະເຫີຍສູນຍາກາດ.ດ້ວຍການພັດທະນາຂອງເຕັກໂນໂລຊີສູນຍາກາດ ultra-high, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງເຕັກໂນໂລຊີໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍໄປສູ່ພາກສະຫນາມຂອງວິທະຍາສາດ semiconductor.

ແຮງຈູງໃຈຂອງການຄົ້ນຄວ້າວັດສະດຸ semiconductor ແມ່ນຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນໃຫມ່, ເຊິ່ງອາດຈະປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງລະບົບ.ໃນທາງກັບກັນ, ເຕັກໂນໂລຢີວັດສະດຸໃຫມ່ອາດຈະຜະລິດອຸປະກອນໃຫມ່ແລະເຕັກໂນໂລຢີໃຫມ່.molecular beam epitaxy (MBE) ເປັນເຕັກໂນໂລຊີສູນຍາກາດສູງສໍາລັບຊັ້ນ epitaxial (ປົກກະຕິແລ້ວ semiconductor).ມັນໃຊ້ beam ຄວາມຮ້ອນຂອງປະລໍາມະນູແຫຼ່ງຫຼືໂມເລກຸນຜົນກະທົບຕໍ່ substrate ໄປເຊຍກັນດຽວ.ຄຸນລັກສະນະສູນຍາກາດທີ່ສູງທີ່ສຸດຂອງຂະບວນການເຮັດໃຫ້ການຫລອມໂລຫະໃນບ່ອນແລະການຂະຫຍາຍຕົວຂອງວັດສະດຸ insulating ເທິງຫນ້າດິນ semiconductor ທີ່ປູກໃຫມ່, ສົ່ງຜົນໃຫ້ການໂຕ້ຕອບທີ່ບໍ່ມີມົນລະພິດ.

ຂ່າວ bg (4)
ຂ່າວ bg (3)

ເຕັກໂນໂລຊີ MBE

ການ epitaxy beam ໂມເລກຸນໄດ້ຖືກປະຕິບັດໃນສູນຍາກາດສູງຫຼືສູນຍາກາດສູງ (1 x 10.-8Pa) ສະພາບແວດລ້ອມ.ລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນທີ່ສຸດຂອງ epitaxy beam ໂມເລກຸນແມ່ນອັດຕາການຕົກຕໍ່າຂອງມັນ, ເຊິ່ງປົກກະຕິແລ້ວອະນຸຍາດໃຫ້ຮູບເງົາຂະຫຍາຍ epitaxial ໃນອັດຕາຫນ້ອຍກວ່າ 3000 nm ຕໍ່ຊົ່ວໂມງ.ອັດ​ຕາ​ການ​ຝາກ​ເຫຼືອ​ທີ່​ຕ່ຳ​ດັ່ງ​ກ່າວ​ຮຽກ​ຮ້ອງ​ໃຫ້​ມີ​ສູນ​ຍາ​ກາດ​ສູງ​ພໍ​ທີ່​ຈະ​ບັນ​ລຸ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ໃນ​ລະ​ດັບ​ດຽວ​ກັນ​ກັບ​ວິ​ທີ​ການ​ຝາກ​ອື່ນໆ.

ເພື່ອຕອບສະຫນອງສູນຍາກາດທີ່ສູງທີ່ສຸດທີ່ອະທິບາຍຂ້າງເທິງ, ອຸປະກອນ MBE (ຈຸລັງ Knudsen) ມີຊັ້ນເຮັດໃຫ້ເຢັນ, ແລະສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດສູງສຸດຂອງຫ້ອງການຂະຫຍາຍຕົວຕ້ອງໄດ້ຮັບການຮັກສາໄວ້ໂດຍໃຊ້ລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ.ໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມພາຍໃນຂອງອຸປະກອນເຢັນລົງເຖິງ 77 Kelvin (−196 °C).ສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມຕ່ໍາສາມາດຫຼຸດຜ່ອນເນື້ອໃນຂອງ impurities ໃນສູນຍາກາດແລະສະຫນອງເງື່ອນໄຂທີ່ດີກວ່າສໍາລັບການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆ.ດັ່ງນັ້ນ, ລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງຄວາມເຢັນໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວທີ່ອຸທິດຕົນແມ່ນຈໍາເປັນສໍາລັບອຸປະກອນ MBE ເພື່ອສະຫນອງການສະຫນອງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະສະຫມໍ່າສະເຫມີຂອງ -196 °C ໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ.

ລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ

ລະບົບການໄຫຼວຽນຂອງໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍ,

● tank cryogenic

●ຕົ້ນຕໍແລະສາຂາສູນຍາກາດ jacketed ທໍ່ / vacuum jacketed hose

● MBE ເຄື່ອງແຍກໄລຍະພິເສດແລະທໍ່ລະບາຍອາກາດ jacketed ສູນຍາກາດ

● ວາວ jacketed ສູນຍາກາດຕ່າງໆ

● ສິ່ງກີດຂວາງອາຍແກັສ-ຂອງແຫຼວ

● ການກັ່ນຕອງເສື້ອສູນຍາກາດ

● ລະບົບປັ໊ມສູນຍາກາດແບບເຄື່ອນໄຫວ

● Precooling and cleaning system reheating system

ບໍລິສັດອຸປະກອນ HL Cryogenic ໄດ້ສັງເກດເຫັນຄວາມຕ້ອງການຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ MBE, ການຈັດຕັ້ງກະດູກສັນຫຼັງດ້ານວິຊາການເພື່ອປະສົບຜົນສໍາເລັດໃນການພັດທະນາລະບົບການເຄືອບໄນໂຕຣເຈນຂອງແຫຼວ MBE ພິເສດສໍາລັບເຕັກໂນໂລຢີ MBE ແລະຊຸດປ້ອງກັນສູນຍາກາດທີ່ສົມບູນ.edລະບົບທໍ່, ເຊິ່ງໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນຫຼາຍວິສາຫະກິດ, ມະຫາວິທະຍາໄລແລະສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາ.

ຂ່າວ bg (1)
ຂ່າວ bg (2)

HL ອຸປະກອນ Cryogenic

ອຸປະກອນ HL Cryogenic ເຊິ່ງກໍ່ຕັ້ງຂຶ້ນໃນປີ 1992 ແມ່ນຍີ່ຫໍ້ທີ່ຂຶ້ນກັບບໍລິສັດອຸປະກອນ Cryogenic ບໍລິສຸດ Chengdu ໃນປະເທດຈີນ.ອຸປະກອນ HL Cryogenic ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະອອກແບບແລະຜະລິດລະບົບທໍ່ Cryogenic ທີ່ມີ insulated ສູນຍາກາດສູງແລະອຸປະກອນສະຫນັບສະຫນູນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ.

ສໍາລັບຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາຢ້ຽມຊົມເວັບໄຊທ໌ທາງການwww.hlcryo.com, ຫຼືສົ່ງອີເມວຫາinfo@cdholy.com.


ເວລາປະກາດ: 06-06-2021